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纳米压痕仪的主要应用和技术特点
编辑:莱州知金测试仪器有限公司   发布时间:2020-07-15

  纳米压痕仪首要用于丈量纳米标准的硬度与弹性模量,能够用于研究或测试薄膜等纳米资料的触摸刚度、蠕变、弹性功、塑性功、断裂韧性、应力-应变曲线、疲劳、存储模量及损耗模量等特性。可适用于有机或无机、软质或硬质资料的检测剖析,包含PVD、CVD、PECVD薄膜,感光薄膜,彩绘釉漆,光学薄膜,微电子镀膜,保护性薄膜,装饰性薄膜等等。基体能够为软质或硬质资料,包含金属、合金、半导体、玻璃、矿藏和有机材料等。

  主要应用:

  半导体技能(钝化层、镀金属、Bond Pads);存储资料(磁盘的保护层、磁盘基底上的磁性涂层、CD的保护层);光学组件(触摸镜头、光纤、光学刮擦保护层);金属蒸镀层;防磨损涂层(TiN,TiC,DLC,切割工具);药理学(药片、植入资料、生物安排);工程学(油漆涂料、橡胶、触摸屏、MEMS)等职业。

  技术特点:

  1、完全符合ISO14577、ASTME2546;

  2、光学显微镜自动调查;

  3、共同的热漂移控制技能;

  4、可硬度、刚度、弹性模量、断裂刚度、失效点、应力-应变、蠕变功能等力学数据;

  5、当令丈量载荷大小;

  6、选用独立的载荷加载体系与高分辨率的电容深度传感器;

  7、快速的压电陶瓷驱动的载荷反馈体系;

  8、双标准校正:熔融石英与蓝宝石。

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