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纳米压痕仪在信息技术上的应用
编辑:莱州知金测试仪器有限公司   发布时间:2020-03-05

  近年来,跟着科学研究的不断深入,主要用来检测资料外表微米和纳米力学性质的纳米硬度技术迅速发展,纳米压痕仪的使用也变得越来越广泛。

  A、微机电系统(MEMS)

  纳米压痕法是一种快速取得资料纳米硬度和模量值的办法,同时,能够对资料的刚度及断裂韧性等进行表征。纳米压痕在摩檫学上的使用主要是丈量纳米级摩擦磨损功能和外表粘附力,从而为微机电中开发新的涂层、光滑资料和外表处理服务。

  此外,还能够将纳米压痕技术与其他丈量表征办法结合,如电学丈量,从而研究微触点电触摸功能等。

  B、电子封装

  封装资料通常是多功能的,其功能及可靠性取决于它们的电学、化学、热和力学特征。纳米压痕经过定量丈量弹性模量、硬度、断裂韧性、耐磨损功能、粘附力、应力松懈、抗蠕变性,广泛使用于基板、电介质、电触点、热资料和焊接等范畴。

  C、堆积与光刻技术

  在电子器件的制造过程中,需要用到堆积与光刻。堆积是指各种薄膜的堆积,常见的堆积办法有物理气相堆积和化学气相堆积。光刻技术是指在光照效果下,借助光刻胶将掩膜版上的图形转移到基片上的技术。

  这些都需要对薄膜的力学功能和界面结合功能进行系统的研究,纳米压痕技术能定量丈量薄膜的纳米力学和界面粘附功能。

  D、显现器LED/OLED

  新一代的显现技术需要将柔韧的有机资料和相对刚硬的无机涂层有机结合在一起。为提高显现器的功能和可靠性,需要解决力学功能不匹配形成的堆积涂层剩余应力、热膨胀系数不匹配而发生的热应力等问题。

  纳米压痕仪技术能定量丈量LED和OLED的力学功能和界面功能,对薄膜和衬底的弹性模量、硬度、断裂韧性、蠕变、应力松懈等进行快速表征。此外,划痕试验可定量丈量薄膜层之间的界面粘结。